【化学気相堆積法】

か￨がく･き￨そう･たい￨せき￨ほうkagaku·kisō·taisekihō

N.
Chem. chemische Gasphasenabscheidung f f; chemische Gasphasenbeschichtung f f; CVD-Verfahren n n; CVD-Beschichtungstechnik f f.
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