【化学気相成長法】

か￨がく･き￨そう･せい￨ちょう￨ほうkagaku·kisō·seichōhō

Chem. chemische Gasphasenabscheidung f f; chemische Gasphasenbeschichtung f f; CVD-Verfahren n n; CVD-Beschichtungstechnik f f.