【化学気相蒸着法】

か￨がく･き￨そう･じょう￨ちゃく￨ほうkagaku·kisō·jōchakuhō

Chem. chemische Gasphasenabscheidung f f; chemische Gasphasenbeschichtung f f; CVD-Verfahren n n; CVD-Beschichtungstechnik f f.