【極紫外線】

きょく･し￨がい￨せんkyoku·shigaisen0

Phys. extrem ultraviolette Strahlen mpl mpl; EUV-Strahlen mpl mpl; extrem ultraviolette Strahlung f f; EUV-Strahlung f f.

Zusammensetzungen

	極紫外線リソグラフィー極紫外線リソグラフィー \| Elektrot. EUV-Lithografie f f; EUV-Lithographie f f.