N.

Phys., Chem. physikalische Gasphasenabscheidung f f.

【物理蒸着法】

ぶつ￨り･じょう￨ちゃく￨ほうbutsuri·jōchakuhō

N.

Phys., Chem. physikalische Gasphasenabscheidung f f.

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