<entry id="10666469" version="1.6" xmlns="http://www.wadoku.de/xml/entry"><form><orth>半導体プロセス</orth><reading><hira>はんどうたいぷろせす</hira><hatsuon>&lt;はん'どう'たい&gt;・ぷろせす</hatsuon><accent>8</accent></reading></form><gramGrp><meishi/></gramGrp><sense><usg type="dom">Elektrot.</usg><trans><tr><token genus="m" type="N">Halbleiterprozess</token></tr></trans></sense><ref id="885487" type="main" subentrytype="head"/></entry>