<entry id="10018728" version="1.6" HE="true" xmlns="http://www.wadoku.de/xml/entry"><form><orth>スパッタリング</orth><reading><hira>すぱったりんぐ</hira><hatsuon>すぱったりんぐ</hatsuon><accent>2</accent></reading></form><etym>von engl. <foreign>sputtering</foreign></etym><gramGrp><meishi/></gramGrp><sense><usg type="dom">Phys.</usg><trans><tr><token genus="n" type="N">Sputtering</token></tr></trans><trans><tr><token genus="f" type="N">Kathodenzerstäubung</token></tr></trans></sense></entry>